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指标表

典型应用
- 半导体、LED、激光、太阳能光伏行业
- 光纤行业
- 气体行业
工艺介绍
- 气体首先通过高温催化氧化工序,将气体中的CH4、还原性杂质与O2反应转化为H2O和CO2;
- 气体通过多柱吸附工序深度脱除气体中的O2、H2O、CO2等杂质;
- 吸附柱饱和后可通氢加热再生,反复使用;
- 多柱交替吸附、再生,可实现对气体的连续纯化。