产品分类
10296998

PH5系列—氩气、氦气纯化器

指标表

PH5

 

典型应用

  • 应用半导体、LED/激光、太阳能光伏行业
  • 气体行业

 

工艺介绍

  • PH5-H:通过吸附工序,脱除气体中的O2、H2O、CO2等杂质,通过吸气柱脱除N2、CH4
  • PH5-G:气体通过高温状态下的吸气柱,可深度脱除气体中的O2、H2O、CO2、CO、H2、CH4、N2等杂质,吸气柱吸附饱和后,整体更换;
  • PH5-A:气体通过吸附工序,深度脱除气体中的O2、H2O、CO2、CO、H2等杂质;
  • 吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用;
  • 多柱交替吸附、再生、可实现对气体的连续纯化。